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    電子元器件&半導體芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)

    一、電子元器件/半導體芯片光源特點:

      *波長365nm/385nm/395nm/405nm。

      *光源平行半角1.5°~3°可選,光偏角<0.5°,可滿足高解析度曝光需求;

      *光源面積:4寸/6寸/8寸/12寸

    二、產品主要技術參數:


    1.5°~3°可選
    序號指標參數目前水平
    1光源波段365/385/395/405nm (可選單波,混波)
    2產品用途電子元器件,半導體芯片等
    3平行半角0.5°~3°(可選)
    4光照面積100*100mm~300mm*300mm
    5不均勻性<4%


    三、光源使用方向

        現廣泛應用于晶體管、二極管、電阻、電容、電感、可控硅、肖特基等器件生產的核心曝光工藝環節。



                          

    豫公網安備 41072102000587號

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